乙硼烷|B2H6|硼烷和半導體芯片行業運用技術

電子級乙硼烷，化學式為B2H6，屬于無機化合物，是目前能夠分離出的最簡單硼烷，常溫下外觀為無色氣體狀，有特殊臭味，有劇毒，易水解，易溶于二硫化碳。乙硼烷在潮濕空氣中易爆炸，室溫下可分解，能與多種有機溶劑及金屬發生劇烈反應，因此乙硼烷存儲條件要求高，需要存儲在低溫、干燥環境中，并遠離熱源、明火以及氧化劑、鹵素等物質。

工業上乙硼烷制備通常是在真空條件下，以氫化鈉、三氟化硼為原料，在有機溶劑中反應制得粗品，再經冷凝提純等工藝得到高純產品，副產物為氟化鈉。乙硼烷其他制備方法還有：以硼氫化鈉、硫酸為原料反應制得；以四氫硼酸鉀、磷酸為原料反應制得等。乙硼烷可用作摻雜源，用于半導體產業中；用作高能燃料，用于火箭、導彈制造中；用作有機合成原料，用于化工產業中；用來制備高純度硼單晶；還可用于制藥、金屬焊接等領域。其中，半導體產業是乙硼烷的重要下游市場。